Вакуумная арматура

Вакуумная арматура — трубопроводная арматура, обеспечивающая выполнение своих функций при рабочих абсолютных давлениях менее 0,1 МПа (1,0 кгс/см²)[1]. К ней относятся вспомогательные, обычно типовые устройства вакуумных систем, в том числе:[2]

• вентили запорные и регулирующие;
• затворы — для перекрытия проходов с большим поперечным сечением;
• натекатели клапанного и игольчатого типов — для точного дозирования весьма малых количеств газа, или трубчатого типа, открывающие проток газа при нагревании капиллярной трубки;
• вводы электроэнергии, охлаждающей воды или жидких газов;
• окна смотровые — для наблюдения за процессами в вакууме, для вывода различных видов излучения;
• некоторые виды устройств для передачи в вакуумные объёмы механического движения;
• механические вакуумметры (другие типы вакуумметров составляют самостоятельную область техники).

От вакуумной арматуры требуется весьма высокая герметичность всех её деталей и соединений и очень малое отделение газа с её стенок и уплотнителей. Соединения арматуры низкого вакуума уплотняют прокладками из вакуумной резины, подвижные штоки — сальниковыми устройствами специальной конструкции. В системах высокого и сверхвысокого вакуума для подвижных штоков обычно применяются сильфоны; прокладки для арматуры сверхвысокого вакуума делают из специальных сортов термостойкой резины, некоторых видов пластмасс, пластичных металлов[2].

Привод вакуумных клапанов и затворов может быть ручным (обозначения соответственно КСВР, ЗСВР), электропневматическим (КСВП, ЗСВП), электромагнитным (КСВМ)[3].