Физико-технологический институт РАН
Физико-технологический институт (ФТИАН) — институт Отделения нанотехнологий и информационных технологий Российской академии наук.
| Физико-технологический институт РАН (ФТИ РАН) | |
|---|---|
 | |
| Международное название | FTI RAS |
| Основан | 1988 |
| Директор |
чл.-корреспондент РАН В. Ф. Лукичёв |
| Расположение |
 Россия, Москва |
| Юридический адрес | 117218 Москва, Нахимовский проспект 36/1 |
| Сайт | ftian.ru |
С мая 2017 года директор Физико-технологического института — член-корреспондент РАН, доктор физико-математических наук Владимир Фёдорович Лукичёв.
Научные подразделения
- Лаборатория математического моделирования физико-технологических процессов микроэлектроники (ММФТПМ)
- Лаборатория микроструктурирования и субмикронных приборов (МССП)
- Лаборатория субмикронной литографии (СЛ)
- Лаборатория физики поверхности и микроэлектронных структур (ФПМС)
- Лаборатория физических основ квантовых вычислений
Проекты и исследования
- Ионно-лучевые технологии
- Плазмохимическое травление — технология создания элементов МЭМС и НЭМС
История ФТИАН
Создан в 1988 году на базе на базе Отдела микроэлектроники Института общей физики АН СССР.
Ранее директорами института были: академик Камиль Ахметович Валиев и сменивший его на этом посту в 2005 году академик Орликовский Александр Александрович.
Ссылки
This article is issued from Wikipedia. The text is licensed under Creative Commons - Attribution - Sharealike. Additional terms may apply for the media files.