Высокочастотный разряд

Основой высокочастотных разрядов является процесс ударной ионизации молекул и атомов газа электронами, ускоренными в высокочастотном электромагнитном поле. Этот процесс сопровождается диффузией электронов из области, где локализовано поле, а также процессами их рекомбинации с ионами или «прилипания» к нейтральным молекулам и атомам. При этом обычно процессы на ограничивающих разрядную область поверхностях менее существенны, чем в случае электростатических разрядов.

В высокочастотных разрядах электроны обычно имеют сложную функцию распределения по энергиям, существенно отличающуюся от равновесной максвелловской.

В общем случае при увеличении плотности (давления) газа и частоты излучения для зажигания разряда требуются всё бо́льшие интенсивности.

Для высокочастотных разрядов характерно явление гистерезиса: гашение разряда происходит при меньшей величине высокочастотного поля, чем зажигание. Наблюдается также гистерезис и по частоте поля.

Различают высокочастотные разряды в присутствии электродов в разрядной области и в отсутствие их. В последнем случае разряд носит название безэлектродного. В газах высокого (близкого к атмосферному) давления высокочастотный разряд, возникающий между двумя электродами, носит название высокочастотной короны. При достаточно больших мощностях он переходит в высокочастотную дугу. При удалении одного из электродов возможно наблюдение так называемого факельного разряда. При низких давлениях высокочастотный разряд по своим свойствам близок к режиму положительного столба тлеющему разряду в постоянном поле.

Высокочастотные разряды, наблюдающиеся при фокусировке в газах электромагнитного излучения сверхвысокочастотного (СВЧ) или оптического диапазонов, носят название соответственно СВЧ- или оптического разрядов и имеют ряд особенностей.

Высокочастотные разряды нашли широкое применение в большом количестве приложений. В частности, они используются в качестве источников плазмы в ионных ускорителях, источников света в спектральном анализе, источников активной среды в мощных газовых лазерах, в плазмохимии для исследования химических реакций в газах, в управляемом термоядерном синтезе и т. д.

• А. В. Гуревич. Физическая энциклопедия : [в 5 т.] / Гл. ред. А. М. Прохоров. — М.: Советская энциклопедия (т. 1—2); Большая Российская энциклопедия (т. 3—5), 1988—1999. — ISBN 5-85270-034-7.