Трихлорсилан

Трихлорсила́н (ТХС, силан трёххлористый, силана трихлорид, силикохлороформ, трихлормоносилан) — кремнийсодержащее неорганическое соединение, при 20 °C и атмосферном давлении бесцветная легколетучая прозрачная жидкость.

Трихлорсилан
Общие
Хим. формула SiHCl3
Физические свойства
Молярная масса 135.45 г/моль
Плотность 1.342 г/см³
Термические свойства
Температура
 • плавления −126.6 °C
 • кипения 31.8 °C
Классификация
Рег. номер CAS 10025-78-2
PubChem 24811
Рег. номер EINECS 233-042-5
SMILES
InChI
RTECS VV5950000
Номер ООН 1295
ChemSpider 23196
Безопасность
NFPA 704
4
3
2
Приведены данные для стандартных условий (25 °C, 100 кПа), если не указано иное.
 Медиафайлы на Викискладе

Внешний вид и свойства

Прозрачная жидкость с резким запахом, гидролизуется влагой воздуха. Производство данного продукта требует от персонала повышенной внимательности и осторожности ввиду токсичности трихлорсилана. Попадание на кожу даже небольших капелек чревато, как минимум, весьма болезненным и плохо заживающим химическим ожогом; большое кол-во же способно причинить тяжёлые увечья, вплоть до отделения мышечной ткани от костей.

Применение

Трихлорсилан является сырьём для производства поликристаллического кремния, моносилана и дихлорсилана (которые также используются в синтезе поликремния), основного ряда кремнийорганических мономеров. Кроме того, существуют другие области применения трихлорсилана. Например, микроэлектроника, где он используется для эпитаксиального осаждения плёнок монокристаллического кремния.

Производство

Мировой рынок трихлорсилана, используемого для производства поликремния, разделен между США, Японией, Германией и Италией. В бывшем СССР мощности по синтезу трихлорсилана были сосредоточены на Украине, поэтому после 1991 года производства трихлорсилана в России не оказалось. Сейчас трихлорсилан производится только на четырёх российских предприятиях в гг. Усолье-Сибирское, в г. Новосибирск ООО "Альфагаз", г.Дзержинск ООО "Фирма "ХОРСТ" , Новочебоксарске[1] и на Украине, в г. Запорожье.

Примечания
  1. Проектный институт «ГИПРОСИНТЕЗ». Дата обращения: 7 июня 2011. Архивировано 30 марта 2012 года.
This article is issued from Wikipedia. The text is licensed under Creative Commons - Attribution - Sharealike. Additional terms may apply for the media files.