Горнев, Евгений Сергеевич

Евге́ний Серге́евич Го́рнев (род. 4 августа 1943 года) — советский и российский учёный, специалист в области микро- и наноэлектроники, метрологического обеспечения измерений длины в микрометровом и нанометровом диапазонах. Заместитель руководителя приоритетного технологического направления по электронным технологиям, АО «НИИ молекулярной электроники» (НИИМЭ). Доктор технических наук, профессор, член-корреспондент РАН (2019), лауреат Государственной премии СССР и премии Правительства РФ в области науки и техники (дважды).

Евгений Сергеевич Горнев
Дата рождения 4 августа 1943(1943-08-04) (78 лет)
Страна  СССР Россия
Научная сфера микроэлектроника
Место работы НИИМЭ, МФТИ
Альма-матер Харьковский государственный университет
Учёная степень доктор технических наук (2000)
Учёное звание профессор
член-корреспондент РАН (2019)
Награды и премии

Биография

Родился 4 августа 1943 года.

В 1966 году окончил радиофизический факультет Харьковского государственного университета.

С 1966 по настоящее время работает в АО "НИИ молекулярной электроники" (НИИМЭ), пройдя путь от инженера до первого заместителя директора НИИ. В настоящее время занимает должность заместителя руководителя приоритетного технологического направления по электронным технологиям АО "НИИМЭ".

В 1967 году входил в состав коллектива, разработавшего интегральную микросхему (ИС) токового ключа «Иртыш» (101КП1), с которой начинались все каталоги советских ИС.

15 ноября 2019 года избран член-корреспондентом РАН по Отделению нанотехнологий и информационных технологий.

Научная деятельность

Специалист в области микро- и наноэлектроники, метрологического обеспечения измерений длины в микрометровом и нанометровом диапазонах.

Автор и соавтор более 300 научных работ, из них 3-х учебных пособий, и 42 авторских свидетельств и/или патентов.

Основные достижения:

  • обобщил, научно обосновал и разработал технические решения для создания современного микроэлектронного производства, на основе чего создал модель промышленной субмикронной технологии как системы и систему управления микроэлектронным производством;
  • под его руководством и с его непосредственным участием разработаны решения многовариантной технологии КМОП, биполярных и БиКМОП на базе универсального маршрута, с достоинствами биполярных и КМОП микросхем;
  • создана система управления на основе мониторинга техпроцесса, контроля дефектности и методов статрегулирования;
  • исследованы, обоснованы и созданы методы контроля линейных размеров элементов СБИС микро- и нанометрового диапазонов с созданием универсальной линейной меры мирового уровня;
  • создано, модернизировано и внедрено более 40 различных вариантов технологий, разработаны с одновременной постановкой на производство в процессе ОКР более 50 типов микросхем, модернизировано более 100 типов, организовано производство 87 серий микросхем, в том числе в Польше;
  • разработана и освоена промышленная технология сегнетоэлектрических плёнок для микро- и наносистемной техники и изделий на их основе, изделий пьезотехники, акустоэлектроники, совместимых с технологиями микро- и наноэлектроники и МЭМС.

Вел преподавательскую деятельность в МИЭТ, МИРЭА.,В настоящее время — профессор и заместитель заведующего базовой кафедры «микро- и наноэлектроника» МФТИ.

Член редколлегии журналов «Микроэлектроника», «Микро- и наносистемная техника», «Электронная техника. Серия 3. Микроэлектроника».

Член научного Совета «Квантовые технологии» при президиуме РАН и научного Совета «Фундаментальные проблемы элементной базы информационно-вычислительных систем и материалов для её создания» ОНИТ РАН, председатель 4-х диссертационных советов МФТИ, член диссертационного совета Д 002.081.01.  

Награды и премии

Примечания

  1. Горнев Евгений Сергеевич. biograph.ru. Дата обращения: 19 апреля 2020.
  2. Горнев Е. С.. popnano.ru. Дата обращения: 19 апреля 2020.

Ссылки

This article is issued from Wikipedia. The text is licensed under Creative Commons - Attribution - Sharealike. Additional terms may apply for the media files.