Вакуумметр Пирани

Вакуумметр Пирани — это устройство для измерения давления в вакуумных системах. Было изобретено Марцелло Пирани в 1906 году.

Датчик Пирани, открытый

Принцип работы вакуумметра Пирани основан на том, что теплоотдача металлов убывает с уменьшением давления, а сопротивление металлов увеличивается, прямо пропорционально температуре.

Вакуумметр Пирани состоит из металлической нити (обычно платиновой), подвешенной в трубе, которая соединена с измеряемой вакуумной системой. Нить накала соединена с электрической цепью, с которой снимается давление, после предварительной калибровки.

Нить накала находится в измеряемом газе. Когда молекулы газа сталкиваются с нитью, они отбирают тепло нити. Чем глубже вакуум, тем реже они ударяются, тем горячее нить и выше её сопротивление. Рабочий диапазон вакуумметра Пирани: от 0.5 Торр до 10⁻⁴Торр. Нижний предел обоснован тем, что при таких давлениях тепло, переданное с помощью диффузии, становится такого же порядка, что и тепло, передающееся с помощью теплового излучения.

Вакуумметр Пирани относится к терморезисторным вакуумметрам.