Интерферометр Физо

Интерферо́метр Физо́ — разновидность многолучевого интерферометра в котором интерференция происходит в промежутке между двумя отражающими поверхностями. Интерферометр Физо часто относят к интерферометрам с общим ходом пучков света, так как до эталонной (полупрозрачной) поверхности пучки распространяются совместно.

Применение интерфеолметра для контроля плоскостности поверхности
Модификации интерферометра для контроля выпуклых, вогнутых и плоских поверхностей.

Применяется, главным образом, для контроля точности изготовления поверхностей оптических деталей и оптических систем.

Промышленно в СССР выпускались интерферометры Физо для контроля плоских поверхностей: ИИП-15, ИТ-40, ИТ-70 ИТ-100, ИТ-200; а для контроля выпуклых поверхностей КЮ-153, КЮ-210, КЮ-211, а также универсальный интерферометр ИКД-110[1] — позволяющий контролировать как плоские, так и выпуклые и вогнутые поверхности. В настоящее время в России выпускается интерферометр «ФТИ-100»[2], оснащенный фазово-сдвиговой системой регистрации интерферограмм, а также интерферометр для контроля плоских поверхностей М200[3].

Схема интерферометра

Если эталонную и контролируемую поверхность покрыть зеркальным слоем с коэффициентом отражения около 80—90 %, то вместо двухлучевой интерференционной картины получается многолучевая интерференционная картина высокой контрастности.

Выходящий из источника когерентного излучения пучок лучей фокусируется микрообъективом и преобразуется в расходящийся, который после прохождения светоделителя преобразуется коллимирующим объективом в параллельный пучок. В фокусе микрообъектива часто устанавливают точечную диафрагму, которая являясь фильтром пространственных частот улучшает однородность пучка.

Для контроля плоских и выпуклых поверхностей используются эталонные насадки представляющие собой объектив, последняя поверхность которого, являющаяся эталоном, концентрична его фокальной точке. Эталонная насадка устанавливается за коллимирующим объективом, а контролируемая поверхность устанавливается за эталонной насадкой таким образом, чтобы её центр кривизны совпадал с фокальной точкой эталонного объектива.

Для контроля плоских поверхностей в качестве эталона используется клиновидная пластина, поверхность обращённая к тестируемой поверхности является эталонной поверхностью.

Эталонная и контролируемая поверхности устанавливаются так, чтобы обеспечить автоколлимационный ход лучей в интерферометре. В обратном ходе лучи, отраженные от эталона и контролируемой поверхности, возвращаются обратно через коллимирующий объектив и, отразившись от светоделителя (полупрозрачного зеркала), формируют интерференционную картину полос равной толщины в плоскости оптически сопряженной с плоскостью контролируемой поверхности.

Примечания
  1. Интерферометр ИКД-110 (недоступная ссылка)
  2. Интерферометр ФТИ-100 (недоступная ссылка). Дата обращения: 9 декабря 2020. Архивировано 11 августа 2020 года.
  3. Интерферометр M200 Архивная копия от 11 сентября 2017 на Wayback Machine

Литература
This article is issued from Wikipedia. The text is licensed under Creative Commons - Attribution - Sharealike. Additional terms may apply for the media files.